現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

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著者

小島, 啓安

出版社

日刊工業新聞社

発売日

2015年2月発売

価格

3,300円（税込・書誌情報提供：openBD）

ISBN

9784526073663

発売済み