クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術

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著者

山田, 公, 1936-

出版社

日刊工業新聞社

発売日

2006年10月発売

価格

3,200円（税込・書誌情報提供：openBD）

ISBN

9784526057656

発売済み