プラズマと成膜の基礎

著者

小沼, 光晴, 1950-

出版社

日刊工業新聞社

発売日

1986年8月（発売日は月までの情報で、日付は未確定です。）

発売日の出典

openBD

価格

3,400円（税込・書誌情報提供：openBD）

ISBN

9784526020650

発売済み