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生産現場・開発現場において役立つ薄膜作製技術
日本真空協会
リアライズ理工センター
発売済み
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わかりやすい真空技術
日刊工業新聞社
1998年5月
超高真空実験マニュアル
1991年8月
1990年5月
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