図解でわかる半導体製造装置

「産業のコメ、原油」とも呼ばれる半導体。その半導体をつくるための装置が半導体製造装置。拡散工程から特性検査工程までの各工程で使用される装置の構造、操作原理、技術のすべてがこの一冊でわかります。

著者

菊地 正典

出版社

日本実業出版社

発売日

2007年4月発売

価格

価格未定（税込・書誌情報提供：openBD）

ISBN

9784534042170

ページ数

182ページ

発売済み