集積回路工学

大学の実験室で学生が自分の手で１チップマイコンを作製した具体例を基にして，設計から製作に至る集積化プロセスの基本的技術を体系化して著した入門書．プロセスチェック技術や小規模のホトマスクデータ処理の実際を解説するほか，三次元集積化にふれる．

著者

庄野　克房

出版社

東京大学出版会

発売日

1983年12月1日

発売日の出典

openBD

価格

2,300円（税込・書誌情報提供：openBD）

ISBN

9784130620659

ページ数

206ページ

発売済み