シリコンマイクロ加工の基礎

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著者

Elwenspoek, Miko, 1948-、Jansen, Henri V、田畑, 修, 1956-、佐藤, 一雄, 1948-

出版社

シュプリンガー・フェアラーク東京

発売日

2001年12月発売

価格

8,900円（税込・書誌情報提供：openBD）

ISBN

9784431709343

発売済み