超並列電子ビーム描画装置の開発

並列電子ビームによる描画の実用化に向けて、アクティブマトリックス超並列電子ビームの実験・開発の成果をまとめる。

著者

江刺　正喜、宮口　裕、小島　明、池上　尚克、越田　信義、菅田　正徳、大井　英之

出版社

東北大学出版会

読者対象

専門書

内容

電気

発売日

2018年6月10日

発売日の出典

openBD

価格

3,000円（税込・書誌情報提供：openBD）

ISBN

9784861632969

ページ数

236ページ

発売済み