超精密加工と表面科学

「原子制御製造プロセス」に関する最新の成果を、基礎科学分野と物づくり分野が一体となった「ナノ表面科学」として体系化している。

著者

大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点／精密工学会超精密加工専門委員会

出版社

大阪大学出版会

発売日

2014-03-22

価格

3,000円（税込・書誌情報提供：openBD）

ISBN

9784872594652

ページ数

386ページ

発売済み