半導体真空技術

半導体産業に焦点をあて、そこにおける真空技術についてまとめた。理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。

著者

宇津木 勝

出版社

東京電機大学出版局

発売日

2011-05-20

価格

2,500円（税込・書誌情報提供：openBD）

ISBN

9784501418908

ページ数

224ページ

発売済み