微細加工

　微細加工の歴史的な経緯およびその技術を解説。半導体プロセス，製造装置に関する入門書

著者

中野　朝安、星野　洋、小松　良策

出版社

東京電機大学出版局

読者対象

専門書

内容

電子通信

発売日

1989年3月20日

発売日の出典

openBD

価格

2,700円（税込・書誌情報提供：openBD）

ISBN

9784501313302

ページ数

250ページ

発売済み