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スパタリング現象
金原 粲
東京大学出版会
〔目次〕 １序論，２スパタリング現象の特徴，３スパタリングの理論，４特殊なスパタリング現象，５スパタリング法による薄膜作製装置，６スパタリングでつくられた薄膜の特徴，７スパタリング薄膜の応用，各章文献，索引．
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2008年7月1日
薄膜の基本技術 第2版
1987年9月1日
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