レーベルは物理工学実験です。
同じ著者の書籍を2冊、関連書籍に掲載しています。
薄膜の基本技術 第2版
金原 粲
東京大学出版会
薄膜を初めて作る人のために書かれた入門書．真空蒸着法，スパタリング法，プラズマプロセスによる薄膜作製技術が詳細に解説され，また初心者に必要な基礎知識が分かりやすく書かれている．旧版発行後１０年間の進展を新たに記述し，全面的に改訂している．
発売済み
Amazonで購入
2008年7月1日
スパタリング現象
1984年3月1日
広告
