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カーボンナノチューブや青色発光ダイオードなど，いま話題の製品の材料は薄膜製作技術の成果である．現代の最先端技術を支える材料，薄膜の作り方や物性の測定などを基本から学べる定番テキスト．好評を博した第２版を全面改訂，演習問題も付加する．
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薄膜の基本技術 第2版
金原 粲
東京大学出版会
1987年9月1日
スパタリング現象
1984年3月1日
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